基于ProboStat的薄膜样品的阻抗谱和两点电导率测量

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      既可用于跨平面也可用于平面内的薄膜电学表征ProboStatTM的薄膜设置有两种，分别是可控气氛下的低温环境（最高不超过200ºC）和高温环境。

      对于跨平面测量，应将膜置于导电基底上，并安装单个或多个Pt（或其他）电极；对于平面内测量，应将膜置于装有平行线性电极的非导电基底上。建议最小电极分辨率为1mm，建议的最大基底尺寸为20 x 26mm。（在大气环境下的低温测量中，样品尺寸可能需要更大）。

      底部电极是一个黄铜板（金质板用于高温测量）。对于跨平面测量，这块金属板可用作电极，对于平面内测量，则可用以接地消除电容之用。

      顶部两个电极由金质金属丝缠绕在一根氧化铝棒上形成，并由一根弹簧轻轻固定住。用户可以将顶部电极提起并安放在任何涂附的电极点或电极条上。

      薄膜样品测量设置与标准ProboStat兼容。

      薄膜样品测量装置用户手册下载。